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2021-11-30

【中國案例分享 每顆晶片都來自精挑細選 | 雅科貝思晶片檢測解決方案】


【中國案例分享 每顆晶片都來自精挑細選 | 雅科貝思晶片檢測解決方案】
 
應用背景
隨著晶片生產工藝越來越完善,對晶片製造要求越來越嚴格,因此晶片製造的各個步驟,都需要進行精確的測量,以保證成品晶片的品質。
雅科貝斯晶片檢測平台,可以對晶片進行精確測量檢測,保證成品晶片的合格率。
 
客戶需求
晶片製造過程中需要不斷地沉積各類薄膜,一般一個晶片會具有幾十層薄膜結構,而薄膜的厚度、反射率、均勻性等,會對晶圓成像處理的結果產生關鍵性的影響,因此需要進行精準的檢測。
其中,薄膜厚度和關鍵尺寸測量設備,都是半導體前道最高端的設備,對運動台的機械和運動精度、低速運動時的速度波動性及穩定性、無塵環境等級(或高真空)等有極高要求。
 
解決方案
針對半導體行業晶片檢測應用,羅昇可提供多種方案,如整套晶片測量解決方案、XYZ高性價比的龍門平台,也可提供線性馬達散件。
 
雅科貝思晶片檢測解決方案優勢:
1. 提供的氣浮平台解決方案,具有極高精度和運動穩定性,整個組裝調試流程都在無塵室環境中進行
2. 採用特殊光柵尺,實現極高的精度和極低的熱膨脹係數,配套高性能運動控制器,其優化的龍門算法可以最大程度地將龍門平台的性能發揮到極致
3. XY軸通過特殊結構設計,以及採用雅科貝思專利設計的AUM系列線性馬達,無齒槽效應,保障了低速運動時極高的穩定性,和超高的同步性能
4. Z軸採用特殊設計和ZTT特殊控制算法,實現Chuck是實時調平。主動隔震系統可選
5. 線性馬達具有更高的速度和加速度,同時可以保證極好的精度,提高了整個設備的生產效率和產品品質
6. AUM系列線性馬達採用專利的磁路優化設計,可以用更緊湊的結構,實現更好的運動性能,無鐵芯的結構降低摩擦力使磨損更小,從而實現長期穩定運行,使用壽命更長
 
羅昇在半導體行業解決方案上擁有豐富的行業經驗,有極高的行業認可度。可提供從電機設計、平台機械結構、電氣控制、隔震系統、軟體算法全方位為客戶提供可定制化解決方案。
 
*部分產品僅中國販售
*最後由於法律規定等相關,產品或案件內等詳細資料,無法於此公開。
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